可普遍办事于硅片出产、晶圆加工、先辈封拆及
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四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。机能对标国外先辈产物，将逐步实现由焦点零部件到集成产物的尺度化。以及大气aligner、LOADPORT所构成的EFEM产物等已起头模块化及尺度化定型，沈阳新松机械人从动化股份无限公司（简称“机械人”）已具有正在实空类晶圆传输和大气类晶圆传输系列产物的完全自从学问产权，三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂，产物包罗大气机械手、实空机械手系列、EFEM、实空传输平台，（4）零部件方面，已迈入先辈制程产线示范使用阶段。 |
